光刻机概念股逆势活跃，茂莱光学涨幅超过10%，美埃科技上涨超过6%。波长光电、大族激光、永新光学和张江高科也纷纷跟涨。中信证券表示，国内对光刻机产业链的投资和支持力度不断加大，这将推动国产高端光刻机的发展，同时半导体设备产业链也将受益。